-
高性能，低价格的减反膜专用光学镀膜机
2013-03-29 09:41 [打印本稿] [字号: [大 中 小]
1.高效率排气系统2.霍尔型离子源辅助镀膜3.标配省电节能单元4.全自动镀膜
规格及标准配置：基片夹具;伞形架1200mm（4分割）转速5－30rpm
基片加热：最高350摄氏度 加热分布:300摄氏度+－10摄氏度。
蒸发源：（1）电子枪 日本电子制JEBG－102UH（电源JST－3F/5KW）（2）坩埚 标配20点坩埚（35）（3）离子源 真空制霍尔型离子源
膜厚控制：6点式晶控仪（标配CRTM——6000G/6MHz）
镀膜系统：真空自动膜系统（WAVE NAVIGATOR /OS:WindowsXP）
排气系统：22英寸DPX2，RP+MBP Polycold
所需电力：3相200V 约110KVA
SSOC－1350i 选购配置
用户可根据需要，选购追加如下配置
（1）夹具自动翻转机构 可装入9枚托盘
（2）阻抗蒸发源
(3)电子枪（由单枪加为双枪）
